|
双工位高真空排气台双工位高真空排气台为科立方真空（KLFVAC）自主研发设计、加工制造的真空设备，此排气台由真空获得装置、真空测量装置、真空管路阀门、一体化机架、以及控制装置构成。 具备双通道高真空接口，共用一套真空泵组，可单独或同时对两组真空容器进行真空排气以及真空度测量。 一体化设计，结构紧凑、运行可靠、方便移动。 
收藏
设备描述： 双工位高真空排气台的高真空阀及预抽阀独立开启或者关闭，可单独或同时对两套密闭容器进行真空排气。 参数配置： 真空获得装置：准无油分子泵组； 真空测量装置：复合真空计1套；双路电阻真空计1套； 控制装置：PLC编程控制，触摸屏手动操作； 真空排气接口：LF100，2个； 工作真空度：120min内优于1×10-4Pa（非首次）； 外形尺寸（长×宽×高，mm）：800×600×1300； 设备电源：AC220V，10A，必须可靠接地 |
