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详细说明

小型涡轮分子泵

对于N2具有最高抽速67 l/s  

复合轴承 

集成驱动电子装置  

用于在所有情况下的安装

适用于可靠系统集成 

广泛的配件扩展使用范围

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  • 产品说明

产品尺寸：


小型涡轮分子泵尺寸.png



技术参数：


控制接口

RS-485,I0口

允许的最高径向磁场

3.8mT

冷却方法

空气

冷却类型

对流

启动时间

<2分

声压水平

≤48分贝

安装方向

任意

工作电压：V DC

24(士5%)V DC

放气接口

M20X1.5

最大耗电量

110W

最终压力

<5×10-10mbar

最终转速下的氢气流量

15.3mbar l/s

最终转速下的氮气流量

1.3mbar l/s

氢气抽气速度

48 l/s

氢气的压缩比

1.4×105

氨气在最终转速下的气流量

2.7mbar l/s

氨气的压缩比

1.3×107

氦气的抽气速率

58 l/s

氩气在最终转速下的气流量

0.54mbar l/s

氩气抽气速率

66 l/s

氩气的压缩比

>1×1011

氮气的压缩比

>1×1011

用于氮气的抽气速度

67 l/s

电子驱动单元

集成

电流最大值

8A

转 速 ± 2 %

90,000 rpm

转速可变化

20-100%

轴承

复合

连接法兰(入口)

DN63 CF

DN63 IS0-K

DN40 ISO-KF

连接法兰(出口)

DN16 IS0-KF

推荐启动压力

≤3mbar

重量

3.6kg


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