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三联真空室加热系统此三联真空室加热系统由3组真空腔体及两套分子泵组构成，用于光学工件的真空除尘、烘烤除气及显微观察。 航空铝合金腔体，表面化学镀镍，全尺寸腔门，配备观察窗；准无油高真空设计 
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一、设备描述 此三联真空室加热系统由3组真空腔体及两套分子泵组构成，准无油高真空设计，用于机械零件的真空除尘、真空烘烤除气及显微观察。3个工位一字对接，中间工位底部吊装扩展真空腔体用于安装三维位移台。每组腔体独立控温加热，相邻腔体之间用插板阀隔断并通过水冷法兰阻隔热传导。全尺寸独立开启上盖，方便取放零件。每组腔体上盖均设置观察窗，内部引入照明光源，方便观察。每组腔体分别设置氮气通入接口及安全阀，实现吹扫功能。每组腔体设置若干电气接口，用于电源、信号引入。 二、技术参数： 真空腔体材质：6061铝合金，表面镀镍 真空腔体数量：左右工位各1个，中间工位1个，扩展腔体1个 腔门开启方式：独立上盖，安装铰链 极限真空度：1×10-5Pa（空载冷态） 烘烤温度：室温至120℃连续可调 |
