激光真空实验台

技术参数：

一、真空腔体

1、真空腔体采用 6061 航空铝合金 CNC 加工，内部尺寸 250mm×200mm×200mm（长×宽×高）； 

2、真空腔体顶部铝合金腔盖，开启式设计，安装可调节铰链，快开锁扣及把手，方便安装维护；

3、真空腔体正面设亚克力透明视窗（160mm×160mm），方便观测；

4、真空腔体右前 45°开设激光入射石英窗口（DN35）； 

5、真空腔体内部底面预留靶材支架固定螺纹孔，安装三维可调节靶材支架； 

6、真空腔体左侧接口：2 个航空插头接口，2 个扩展接口（DN35）； 

7、真空腔体背面接口：1 个抽真空接口（KF25），1 个放气接口（KF16）,1 个扩展接口（DN35）； 

8、真空腔体底部安装支架及可调地脚，可将腔体水平固定在光学平台上（孔距 25×25，M6）。 

二、真空泵组 

1、主抽泵：脂润滑涡轮分子泵，抽速 300L/s，DN100； 

2、前级泵：直连式双级旋片机械泵，抽速 3L/s，KF25； 

3、缓冲腔体：304 不锈钢材质，1 个抽气接口（KF25），1 个电阻规接口（KF16），1 个电离规接口 （CF35），底部 DN100 法兰安装在分子泵口；

4、真空计：复合真空计，量程 10⁵Pa~10^-5Pa,1 个电阻规管（KF16 金属规管）,1 个电离规管 （CF35 金属规管）;

5、泵组机架：用于固定分子泵，机械泵，真空计和缓冲腔。碳钢材质，外观喷塑。紧凑型设计，底部安装脚轮，可方便对接真空腔体。

三、测温及电气设计 

1、热电偶馈通：DN35，1组 K 型热电偶插针； 

2、电源馈通：DN15，4×1.5mm 芯 2 个（一用一备）。DN15，8×1mm 芯 2 个（一用一备）。 

3、温度采集系统：桌面式防水外壳，K 型智能采集仪表，配直流电源。数字温度显示，485 通讯接 口。采样频率大于 5 次/s。