设备特点:
无油系统,低泄漏率,运行稳定,
功能定制,适用性高,故障率低
本系统采用干泵+脂润滑分子泵的真空泵组,为高压放电实验提供无油的高真空和气氛环境,从而提高了气体分析的准确性。
真空腔侧面配有一个CF35的观察窗,上面配有一个CF50的观察窗,便于多方位观测腔内样品。
真空腔侧面安装两个真空陶瓷高压电极,为高真空实验系统内部提供可靠的高压电源。
充气口可连接气源,为高真空实验系统充入洁净的保护气体。
真空腔的质谱接口,可连接实验所需的质谱分析仪。
取样口采用氟胶圈密封,密封性能好,寿命长,方便取样。其他接口均采用金属密封,降低泄漏率。
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