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卧式真空实验系统 卧式真空实验系统为科立方真空（KLFVAC）自主研发设计、加工制造的真空设备，可为用户提供实验所需的真空和气氛环境，两台大口径分子泵同时工作，配合大尺寸方形过渡腔，可快速获得工作真空度，为用户节省了时间成本。 
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一、设备描述： 卧式真空试验系统的真空腔体分为主腔体和过渡腔体两部分。 主腔体材质为304不锈钢，卧式圆柱形，内径700mm，长900mm，两端开门，铰链启闭，胶圈密封； 过渡腔体材质为304不锈钢，方形，长750mm×宽400mm×高300mm，过渡腔体安置于主腔体之下，插板阀之上； 过渡腔体上方设置方形法兰与主腔体对接；过渡腔体下方设置两个CF250法兰连接插板阀； 真空腔体部分，直径250mm（含）以下接口均采用刀口法兰，无氧铜垫圈密封（石英观察窗除外）。其余接口均采用氟胶密封圈密封； 二、技术参数： 真空腔体极限真空度：优于5×10-4Pa； 工作真空度：优于5×10-3Pa（进气量不大于1000ml/min）； 电源需求：380V，10KVA，三相五线，接驳至距设备3米内； 冷却水需求：温度＜20℃，流量＞5L/min，接驳至距设备3米内； 装备质量：约1500kg； 占地需求：约8㎡，设备净高度≤2188mm（不含承重脚轮）。 |
