此真空系统为科立方真空(KLFVAC)自主研发设计、加工制造的真空设备,主要为高校实验室提供真空对比测试的实验环境。
真空对比测试系统主要技术参数:
1. 真空腔体:卧式圆柱形,两端法兰式,2组
2. 腔体尺寸:Φ150mm×L550mm(直段尺寸)
3. 工作真空度:5×10-3Pa;极限真空度:优于5×10-5Pa
4. 实验温度:≤200℃(±5℃)
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