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中性团簇真空系统中性团簇真空系统采用两套磁悬浮分子泵加涡旋干泵的高真空泵组，可以为团簇质谱研究实验提供洁净的真空环境，具有绝对无油、低泄漏率、运行稳定等特点。 
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一、设备描述 中性团簇真空系统采用两套磁悬浮分子泵加涡旋干泵的高真空泵组，可以为团簇质谱研究实验提供洁净的真空环境，具有绝对无油、低泄漏率、运行稳定等特点。 二、技术参数 1、 真空腔体材质：304不锈钢，电解抛光处理； 2、 综合漏率：5×10-10Pa·m³/s； 3、 真空腔体极限真空度：近端优于2×10-5Pa；远端优于5×10-4Pa； 4、 机架材质：碳钢喷塑，台面不锈钢装饰板； 5、 真空计量程：1×105Pa~1×10-8Pa； 6、 控制方式：手动控制（可升级PLC控制）；具备水压、断电、真空互锁保护功能； 7、 操作方式：机械面板式（可升级触摸屏操作）； 8、 占地需求：＞2㎡； 9、 供电需求：380V，10KVA，三相五线； 10、 其他能源需求：压缩空气（氮气）0.4~0.7MPa；冷却水＜20℃，＞5L/min。 |
